Les mécanismes de positionnement d’une précision de l’ordre du nanomètre sont très recherchés dans des secteurs comme les équipements de fabrication de semi-conducteurs, la biotechnologie, les dispositifs de communication optique et les microsystèmes électromécaniques (MEMS), pour n’en citer que quelques-uns. Des platines de positionnement fin destinées à répondre à ces exigences sont disponibles depuis un certain temps, comprenant habituellement une vis à billes, un moteur pas à pas et un élément piézoélectrique. Toutefois, ces solutions manquent en général de rigidité et ne permettent pas d’obtenir la très haute résolution nécessaire à haute vitesse. Le nano-positionneur conçu par NSK élimine ces inconvénients. Doté d’un palier fixe à vis à billes breveté avec élément piézoélectrique, ce dispositif assure un positionnement avec une précision de l’ordre du nanomètre et à des vitesses élevées, sans compromettre la rigidité mécanique. La vitesse maximale est de 72 mm/s, tandis que la résolution est de 5 nm et la précision de positionnement, de ±15 nm. Monté sur le même arbre que les roulements préchargés, l’élément piézoélectrique pallie tout moment ou force radiale indésirable. En outre, la précharge du roulement comme force de compression sur l’élément piézoélectrique évite toute tension et la rigidité n’est pas compromise. Le nano-positionneur est disponible en deux variantes : la série M avec une platine compacte 1 axe, et la série CD avec une table XY 2 axes.
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Janvier 2023
