Dotée d’un ensemble d’équipements de haute technologie, la centrale Mimento de l’institut Femto-st permet aux équipes de recherche de concevoir et de réaliser des dispositifs basés sur les micro ou nanotechnologies. Elle dispose de 1 400 m² de salles blanches dont 865 m² de locaux de classe ISO 5 à 7. Mimento est composée de plusieurs modules complémentaires : un pour la recherche fondamentale en nanotechnologie, un autre pour la micro-fabrication en salle blanche et un troisième pour la R&D et l’innovation industrielle. Elle permet le dépôt de couches minces (pulvérisation, évaporation, PECVD), la photolithographie (optique, e-beam, stepper, pistes d’enduction automatique, spray coating, masqueur laser), la gravure ionique (DRIE et FIB) et chimique, l’électroformage, le micro-usinage par laser femtoseconde et par ultrasons, l’électroérosion, le micro-moulage par injection, la découpe de précision, le micro-assemblage, le matriçage à chaud, la caractérisation (profilométrie, ipsométrie, MEB, XPS, fluorescence X).
La centrale est gérée par une équipe technique composée d’une quinzaine d’ingénieurs et de techniciens. Ses missions principales sont le développement de nouvelles technologies, la gestion d’un parc d’équipements de haute technologie et l’accompagnement des utilisateurs (formation et conseil sur les procédés de réalisation). Pour assurer le développement technologique préalable au transfert vers l’industrie de ses travaux de recherche, Femto-st s’appuie sur le centre de développements technologiques Femto Engineering qui constitue une interface privilégiée pour les industriels ayant des besoins d’innovation. Mimento fait partie du Réseau national de grandes centrales technologiques pour la recherche technologique de base (RENATECH) dont le but est de soutenir l’ensemble de la recherche institutionnelle française.
www.femto-st.fr
Date de publication : août 2022
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