La topographie de surface, l’analyse et la visualisation des comportements dynamiques sont essentielles pour tester et développer des microstructures telles que les dispositifs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Spécialisée dans la vibrométrie, la métrologie de surface et les solutions photoniques, Polytec propose l’analyseur de microstructures MSA-600. Cette station de mesure optique tout-en-un, permet de caractériser la topographie de surface ainsi que les mouvements dans le plan et hors plan. Les versions MSA-600-M/V couvrent les gammes de fréquences jusqu’à 25 MHz, adaptées aux MEMS, comme les microphones et autres microsystèmes. Les versions MSA-600-X/U couvrent la gamme des hautes et très hautes fréquences jusqu’à 2,5 GHz, utilisées pour la validation des résonateurs MEMS HF et des dispositifs micro-acoustiques.
Le MSA-600-S est une station de mesure optique spécialement conçue pour l’analyse des vibrations en temps réel à 6 GHz et l’analyse de la topographie de surface. Elle teste des MEMS comme les FBAR (résonateurs acoustiques à film), les filtres BAW (bulk acoustic wave) et les dispositifs SAW (surface acoustic wave).
Date de publication : mai 2024
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