Stations de mesure pour caractériser les MEMS

La topographie de surface, l’analyse et la visualisation des comportements dynamiques sont essentielles pour tester et développer des microstructures telles que les dispositifs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Spécialisée dans la vibrométrie, la métrologie de surface et les solutions photoniques, Polytec propose l’analyseur de microstructures MSA-600. Cette station de mesure optique tout-en-un, permet de caractériser la topographie de surface ainsi que les mouvements dans le plan et hors plan. Les versions MSA-600-M/V couvrent les gammes de fréquences jusqu’à 25 MHz, adaptées aux MEMS, comme les microphones et autres microsystèmes. Les versions MSA-600-X/U couvrent la gamme des hautes et très hautes fréquences jusqu’à 2,5 GHz, utilisées pour la validation des résonateurs MEMS HF et des dispositifs micro-acoustiques.
Le MSA-600-S est une station de mesure optique spécialement conçue pour l’analyse des vibrations en temps réel à 6 GHz et l’analyse de la topographie de surface. Elle teste des MEMS comme les FBAR (résonateurs acoustiques à film), les filtres BAW (bulk acoustic wave) et les dispositifs SAW (surface acoustic wave).

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