
Les miroirs à orientation rapide (Fast Steering Mirrors) de Micro-Epsilon sont des dispositifs micro-mécatroniques inclinables utilisés pour dévier avec précision les faisceaux laser. Les systèmes FSM3000, alliant précision et dynamique élevée, sont faciles à intégrer et robustes. Grâce à la technologie innovante des bobines mobiles, ils atteignent une fréquence maximale de 2 kHz, comparable à celle des systèmes à commande piézoélectrique, mais nettement plus robuste. La plage de mouvement du miroir de ± 1,5°ouvre des degrés de liberté supplémentaires et permet des applications flexibles tout en maintenant le niveau de précision requis. Ils sont adaptés à la communication optique et à la stabilisation des faisceaux laser dans les domaines de l’aérospatiale, de la défense, de la métrologie optique et de l’industrie. Les systèmes dynamiques utilisent des capteurs de déplacement à courants de Foucault de haute précision ainsi qu’un miroir déplacé par un actionneur sous forme de deux bobines électromagnétiques par axe d’inclinaison. Le miroir à orientation rapide peut être contrôlé de manière précise sur deux axes. Un point de pivotement central permet un mouvement synchrone sans jeu ni usure. Ces systèmes de miroirs inclinables ont une petite taille et un poids d’environ 55 g. Micro-Epsilon propose une large gamme de miroirs standards (COTS), d’adaptations personnalisées (MOTS) et de développements spécifiques pour les applications de production en série des OEM. Le diamètre du miroir, son revêtement ou les équipements électroniques de détection des miroirs inclinables peuvent être adaptés à l’application concernée.
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