155-024-001.jpg
Les mécanismes de positionnement d’une précision de l’ordre du nanomètre sont très recherchés dans des secteurs comme les équipements de fabrication de semi-conducteurs, la biotechnologie, les dispositifs de communication optique et les microsystèmes électromécaniques (MEMS), pour n’en citer que quelques-uns. Des platines de positionnement fin destinées à répondre à ces exigences sont disponibles depuis un certain temps, comprenant habituellement une vis à billes, un moteur pas à pas et un élément piézoélectrique. Toutefois, ces solutions manquent en général de rigidité et ne permettent pas d’obtenir la très haute résolution nécessaire à haute vitesse. Le nano-positionneur conçu par NSK élimine ces inconvénients. Doté d’un palier fixe à vis à billes breveté avec élément piézoélectrique, ce dispositif assure un positionnement avec une précision de l’ordre du nanomètre et à des vitesses élevées, sans compromettre la rigidité mécanique. La vitesse maximale est de 72 mm/s, tandis que la résolution est de 5 nm et la précision de positionnement, de ±15 nm. Monté sur le même arbre que les roulements préchargés, l’élément piézoélectrique pallie tout moment ou force radiale indésirable. En outre, la précharge du roulement comme force de compression sur l’élément piézoélectrique évite toute tension et la rigidité n’est pas compromise. Le nano-positionneur est disponible en deux variantes : la série M avec une platine compacte 1 axe, et la série CD avec une table XY 2 axes.
www.nsk.com

Date de publication : mai 2021

Partager cet article
femto 2023

Sur le même sujet

  • mai 2024

    L'ensemble de la chaîne après la coulée de la pièce brute - c'est-à-dire le tournage, le revêtement laser et le meulage ainsi que les propriétés fonctionnelles qui en résultent dans [...]

  • mai 2024

    Toujours soucieuse des questions de politique environnementale, l’entreprise bisontine instaurera de bonnes pratiques pour améliorer les procédés existants, maîtriser leur consommation et limiter les effets de la production sur l’environnement. [...]

  • mai 2024

    Les solutions de rectification d’Emag améliorent la fabrication des engrenages pour la voiture électrique. Ici, sa machine G 160. Source : Emag L’avènement inexorable de la voiture électrique bouleverse la fabrication [...]