Le projet qui a révolutionné les capteurs intelligents 

L’union fait la force. SilMach, SUPMICROTECH et l’Université Marie et Louis Pasteur se rassemblent pour mener pendant quatre ans le projet SAMI (Senseurs Autonomes pour Monitoring Intelligent). Doté d’un montant total de 6 millions d’euros, ce projet est soutenu par l’Union européenne à hauteur de 4,3 millions d’euros du Fonds européen de développement régional (programme FEDER-FSE+ Bourgogne-Franche-Comté et Massif du Jura 2021-2027, géré par la Région Bourgogne-Franche-Comté). Objectif : développer des capteurs ChronoMEMS génériques pour le monitoring à distance. Économiques, écologiques et adaptables à différents secteurs, ces capteurs micromécaniques fonctionnent sans énergie. Les composants qui les constituent sont développés en s’inspirant de l’industrie horlogère (systèmes d’engrenages micrométriques) et des principes de base de la mécanique (roue à cliquet, système masse-ressort). Ces dispositifs seront miniaturisés grâce aux technologies de fabrication sur silicium en salle blanche et hybridés à une interface visible pour l’humain par des procédés spécifiques développés par SilMach et FEMTO-ST. Conçus pour comptabiliser des dépassements de seuil, ils assureront une vigilance opérationnelle 24 heures sur 24. Une qualité indispensable dans de nombreux domaines (aéronautique, transports, infrastructure, énergie, santé…) qui profitent également de leurs bas coûts et faible impact carbone. « SAMI est notre passeport pour conquérir de nouveaux marchés industriels », assure Pierre-François Louvigné, Co-CEO de SilMach. « Nos capteurs sans énergie deviennent communicants, ouvrant la voie à des applications inédites. » Les deux établissements SUPMICROTECH et l’Université Marie et Louis Pasteur participent à ce projet avec les équipes de leur laboratoire commun FEMTO-ST (UMR CNRS). L’expertise microsystèmes hybrides de l’équipe MICRO permet de miniaturiser les composants tout en maximisant leurs fonctions et la plateforme MIMENTO offre son savoir-faire en micro-fabrication et en technologies MEMS. Le projet SAMI vise à atteindre une maturité technologique nécessaire pour préparer une production à grande échelle avec des coûts divisés par dix. D’ici 2030, des dizaines de milliers de capteurs seront produits annuellement dans la région. Une fabrication largement automatisée qui contribuera activement à la réindustrialisation de la Bourgogne-Franche-Comté. Renforçant ainsi son positionnement comme pôle d’excellence en microtechniques et capteurs intelligents… 

www.silmach.com
www.femto-st.fr
www.supmicrotech.fr
www.univ-fcomte.fr
www.europe-bfc.eu